三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)由主機(jī)、軟件系統(tǒng)、電氣（控制）系統(tǒng)和測(cè)頭系統(tǒng)組成，以下內(nèi)容主要就坐標(biāo)測(cè)量機(jī)測(cè)頭系統(tǒng)進(jìn)行介紹。

    測(cè)座、測(cè)頭系統(tǒng)是數(shù)據(jù)采集的傳感器系統(tǒng)，主要功能：

   1、測(cè)頭部分是測(cè)量機(jī)的重要部件，測(cè)頭根據(jù)其功能有：觸發(fā)式、掃描式、非接觸式（激光、光學(xué)）等。觸發(fā)式測(cè)頭是使用較多的一種測(cè)頭，其工作原理是一個(gè)開關(guān)式傳感器。當(dāng)測(cè)針與零件產(chǎn)生接觸而產(chǎn)生角度變化時(shí)，發(fā)出一個(gè)開關(guān)信號(hào)。這個(gè)信號(hào)傳送到控制系統(tǒng)后，控制系統(tǒng)對(duì)此刻的光柵計(jì)數(shù)器中的數(shù)據(jù)鎖存，經(jīng)處理后傳送給測(cè)量軟件，表示測(cè)量了一個(gè)點(diǎn)。掃描式測(cè)頭有兩種工作模式：一種是觸發(fā)式模式，一種是掃描式模式。掃描測(cè)頭本身具有三個(gè)相互垂直的距離傳感器，可以感覺到與零件接觸的程度和矢量方向，這些數(shù)據(jù)作為測(cè)量機(jī)的控制分量，控制測(cè)量機(jī)的運(yùn)動(dòng)軌跡。掃描測(cè)頭在與零件表面接觸、運(yùn)動(dòng)過程中定時(shí)發(fā)出信號(hào)，采集光柵數(shù)據(jù)，并可以根據(jù)設(shè)置的原則過濾粗大誤差，稱為“掃描”。掃描測(cè)頭也可以觸發(fā)方式工作，這種方式是高精度的方式，與觸發(fā)式測(cè)頭的工作原理不同的是它采用回退觸發(fā)方式。

    2、測(cè)頭控制器（PI200、PI7）控制測(cè)頭工作方式轉(zhuǎn)換（TP200、TP7）；TP200、TP7 測(cè)頭是高精度測(cè)頭，它們的特點(diǎn)是靈敏度高，但是靈敏度高會(huì)造成測(cè)量機(jī)高速運(yùn)動(dòng)時(shí)出現(xiàn)誤觸發(fā)。測(cè)頭控制器控制測(cè)頭在測(cè)量機(jī)高速運(yùn)動(dòng)時(shí)處于高阻（不靈敏）狀態(tài)，觸發(fā)時(shí)進(jìn)入靈敏狀態(tài)度轉(zhuǎn)換。在手動(dòng)方式時(shí)一般都是以操縱盒的“速度控制鍵”進(jìn)行控制狀態(tài)轉(zhuǎn)換，即低速運(yùn)動(dòng)時(shí)是測(cè)頭的靈敏狀態(tài)。

    3、測(cè)座控制器根據(jù)命令控制測(cè)座旋轉(zhuǎn)到指定角度。測(cè)座控制器可以用命令或程序控制并驅(qū)動(dòng)自動(dòng)測(cè)座的旋轉(zhuǎn)到指定位置。手動(dòng)的測(cè)座只能由人工手動(dòng)方式旋轉(zhuǎn)測(cè)座。測(cè)頭（針）更換架可以在程序運(yùn)行中，自動(dòng)更換測(cè)頭（針），避免程序中的人工干預(yù)，提高測(cè)量效率。